三机构合作在晶圆厂内设全球首创研发线

新加坡科技研究局（A*STAR）属下的微电子研究院（Institute of Microelectronics，简称IME），将与全球半导体公司意法半导体（STMicroelectronics），以及日本制造工具供应商ULVAC合作，共同建立和运营一条专注于压电式微机电系统（Piezo MEMS）的研发线。

这个“晶圆厂内的实验室”的研发线为全球首创，设于意法半导体在宏茂侨园区的现有工厂，让三名合作方在压电材料、MEMS技术和晶圆制造工具等各方面，产生互补作用，从而促进创新，加速行业发展。

实验室将包含新的洁净室，并结合各合作方的科学家、工程师、专用资源与工具、以及系统集成方面的专业知识等，为该生产线的研发增值。

其中，IME会提供最先进工具，协助确保产品的生产流程能顺利在同一地点进行。新的研发线还会利用现有的意法半导体资源，受益于它的晶圆厂所取得的规模经济。新设的晶圆厂实验室预计在明年第二季投入运营，并在2022年底开始大规模生产。